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          產品名稱:芯明天放大機構式壓電納米定位臺

          產品型號:P11

          產品報價:

          產品特點:芯明天放大機構式壓電納米定位臺 一維壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎元件驅動的壓電平移臺,X 軸,XY 軸,XYZ 軸多維壓電平移臺,驅動形式包含壓電陶瓷直驅式以及機機構放大式兩種驅動形式。相同驅動電壓下,機構放大平臺的位移是直驅平臺位移的幾倍至幾十倍

          更新日期:2022-08-18

          P11芯明天放大機構式壓電納米定位臺的詳細資料:

          1.芯明天放大機構式壓電納米定位臺

          壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎元件驅動的壓電平移臺,X 軸,XY 軸,XYZ 軸多維壓電平移臺,驅動形式包含壓電陶瓷直驅式以及機機構放大式兩種驅動形式。相同驅動電壓下,機構放大平臺的位移是直驅平臺位移的幾倍至幾十倍;直驅平臺的響應速度要比機構放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍zui大可達 300μm,且它具有納米級分辨率以及毫秒級的響應時間。在精密定位領域中發揮著至關重要的作用,且應用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

           

          2.芯明天放大機構式壓電納米定位臺p11’

          P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺,P11.Z為一維壓電納米定位臺,平臺內部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構,一體的結構設計,多維運動無耦合。 機構放大式驅動原理,內置高性能壓電陶瓷,可實現110μm位移。閉環版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有良好的控制精度,分辨率和穩定 性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質,使用過程中不受磁場的影響,壓電定位臺體積小、結構緊湊 易于集成。

           

           3.一維壓電納米定位臺特性

          • 一維Z軸運動                   • zui大行程110μm,可選擇210μm、320μm版本                  

           • 體積小巧                       • 毫秒級響應時間                   •  納米級定位精度

           

          外觀形狀

          產品運動示意圖

          放大機構式驅動示意圖

           

          大行程、閉環版本定位精度高、響應速度快

           P11系列納米定位臺采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷作為驅動源,可以實現1~3維110μm的精密運動。

          該系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本, 閉環版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環壓電控制器可以實時對位移進行精密調整,實現納米級的精密定位控制。

          P11系列壓電納米定位臺的響應速度非???,配套E52系列壓電控制器可實現0.8ms的階躍時間。

           

          原子力探針掃描顯微鏡

                應用

                • 光纖定位/光學掃描     • 納米壓印     • 納米計量     •微操控       • 納米定位

                • 干涉法/ 掃描顯微/納米定位     •生物技術/半導體技術     •質量保證測試

                • 微加工/精密控制

           

           

           

           

           

           

           
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