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          產品名稱:P84.X一維X軸壓電宏微復合臺

          產品型號:P84.X 一維X軸 110μm

          產品報價:

          產品特點:P84.X一維X軸壓電宏微復合臺:
          P84為標準測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節。

          更新日期:2021-03-23

          P84.X 一維X軸 110μmP84.X一維X軸壓電宏微復合臺的詳細資料:

          P84.X一維X軸壓電宏微復合臺

          宏微復合機構是通過宏動調節測微頭與壓電微動調節機構完成大范圍精密定位需求。

          通過測微頭與壓電微調機構相結合的方式實現宏微復合機構,宏微復合機構可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺

           

          P84.X一維X軸壓電宏微復合臺技術參數

          型號

          P84.X100S

          P84.X100K

          單位

          運動自由度

          X

          X

           

          行程范圍

          13mm+110µm

          13mm+110µm

          粗調+精調

          平直度

          <3

          <3

          µm/13mm

          重量

          400

          400

          g±5%

          殼體材料

          鋼、鋁

          鋼、鋁

           

          外形尺寸(長×寬×高)

          140×90×23

          140×90×23

          mm×mm×mm

          手動調節部分-千分尺

          粗調行程范圍

          13

          13

          mm

          粗調分辨率(千分尺)

          10

          10

          µm

          導軌

          交叉滾柱導軌

          交叉滾柱導軌

           

          驅動方式

          螺紋副(分厘卡)

          螺紋副(分厘卡)

           

          千分尺靈敏度

          <2

          <2

          µm

          臺面尺寸

          65×65

          65×65

          mm×mm

          千分尺讀數

          10

          10

          (微米/格)

          千分尺螺距

          0.5

          0.5

          mm/rev.

          壓電驅動精調部分-壓電驅動

          精調行程范圍

          0~120 V,Nominal

          80

          80

          µm±20%

          -20~150 V,Max

          110

          110

          µm±20%

          傳感器類型

          SGS

          -

           

          步進/分辨率

          7

          2.5

          nm, typ.

          閉環線性度(壓電驅動)

          0.1

          -

          %F.S.

          重復定位精度

          0.05

          -

          %F.S.

          運動方向推力

          16

          16

          N

          剛度

          1

          1

          N/µm±20%

          承載能力(Z向)*

          500

          500

          g

          工作溫度范圍**

          -20~80

          -20~80

          °C

          靜電容量

          1.8

          1.8

          µF±20%

          出線長

          1.5

          1.5

          m±10mm

          傳感/電壓連接器

          LEMO

          LEMO

           

           

          注:壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程,大驅動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在
          0~120V。

          以上所提參數與測試環境及測試設備有關。參數更新不予通知,具體請與銷售工程師聯系確認。

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